真空箱式真空高溫爐（又稱高溫真空氣氛箱式爐）是一種集高溫加熱、真空獲得與維持、氣氛控制于一體的熱處理設(shè)備，廣泛應(yīng)用于科研院所、航天航空、電子陶瓷、冶金、新材料等領(lǐng)域。

一、工作原理

系統(tǒng)原理說明

電阻加熱采用硅鉬棒、硅碳棒、鉬絲、鎢絲等發(fā)熱元件，電流通過時(shí)按焦耳定律（Q=I2Rt）產(chǎn)熱，以熱輻射形式將熱量傳遞給物料

真空獲得機(jī)械泵先抽至低真空（約-0.1MPa），選配分子泵/擴(kuò)散泵可達(dá)高真空（10?3Pa）

真空維持爐體多重密封（雙層水冷法蘭+波紋管補(bǔ)償+高溫金屬密封圈），真空計(jì)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，真空度下降時(shí)自動(dòng)補(bǔ)抽

氣氛控制雙向可控進(jìn)氣系統(tǒng)，通入N?、Ar、H?等氣體，配氣體分配裝置和循環(huán)風(fēng)機(jī)保證均勻性

智能控溫微電腦PID控制，多段程序溫控（30~50段可編程），控溫精度±1℃

二、核心技術(shù)參數(shù)（以1200℃~1700℃標(biāo)準(zhǔn)型為例）

參數(shù)指標(biāo)

溫度范圍室溫 ~ 1200℃ / 1400℃ / 1700℃ / 1800℃（可定制）

控溫精度±1℃（PID智能調(diào)節(jié)）

溫場(chǎng)均勻性±3℃ ~ ±5℃（爐膛中心區(qū)）

升溫速率1℃/h ~ 40℃/min（可編程調(diào)節(jié)）

極限真空機(jī)械泵：-0.1MPa；分子泵：≤6.67×10?3Pa（10?3Pa）

可通氣體惰性氣體（N?、Ar）、還原性氣體（H?）、弱氧化性氣體（CO?、O?）

電源220V / 380V

爐體結(jié)構(gòu)雙層鋼板 + 風(fēng)冷/水冷，外殼溫度 ≤45~60℃

爐膛材質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維 / 碳化硅 / 氧化鋁陶瓷纖維板

加熱元件硅鉬棒（1700℃+）、硅碳棒（≤1400℃）、鐵鉻鋁電阻絲

三、主要結(jié)構(gòu)組成

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│  控制柜（PLC+觸摸屏+PID）     │

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│  爐殼（雙層鋼板，水冷/風(fēng)冷）   │

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│  │ 爐襯（多層陶瓷纖維保溫）│  │

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│  │ │ 加熱元件         │   │  │

│  │ │ （硅鉬棒/碳棒）   │   │  │

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│  │ │  │ 工作腔     │   │   │  │

│  │ │  │（放樣品）  │   │   │  │

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│  密封：硅膠/氟橡膠圈 + 水冷  │

│  接口：抽真空口、進(jìn)氣口、     │

│        出氣口、測(cè)壓口、熱電偶 │

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四、安全保護(hù)系統(tǒng)

保護(hù)功能說明

?? 超溫報(bào)警溫度超過設(shè)定值自動(dòng)切斷加熱

?? 斷偶保護(hù)熱電偶斷開時(shí)自動(dòng)停機(jī)

?? 過流/過壓保護(hù)雙回路可控硅整流控制

?? 漏電保護(hù)爐體與控制器可靠接地

?? 氫氣專用自動(dòng)點(diǎn)火、防爆閥、氣體泄漏報(bào)警（通H?時(shí)必配）

?? 氧含量監(jiān)測(cè)選配ZrO?傳感器在線監(jiān)測(cè)