一、按 ?? 工藝類型 分類

工藝類型適用場(chǎng)景典型溫度真空度要求

真空燒結(jié)粉末冶金、硬質(zhì)合金、陶瓷致密化1000~1800℃10?1~10?3 Pa

真空退火金屬消除內(nèi)應(yīng)力、軟化400~1200℃10?1~10?2 Pa

真空淬火鋼件、鈦合金表面硬化800~1100℃10?1~10?2 Pa

真空釬焊航空發(fā)動(dòng)機(jī)葉片、散熱器、電子封裝800~1200℃10?2~10?3 Pa

真空熱處理不銹鋼固溶、時(shí)效、滲碳（真空滲碳）800~1300℃10?1~10?2 Pa

真空脫脂MIM注射成型件脫除粘結(jié)劑300~600℃10?1 Pa

真空熔煉（小批量）活性金屬（Ti、Zr）熔煉、合金配制1000~2000℃10?2~10?3 Pa

氣氛燒結(jié)通N?/Ar/H?的可控氣氛燒結(jié)800~1800℃可通氣氛

CVD/PVD前驅(qū)處理薄膜沉積前的基底預(yù)處理400~1000℃10?3 Pa

二、按 ?? 材料類型 分類

? 金屬與合金

材料典型應(yīng)用為什么必須用真空？

鈦及鈦合金航空航天結(jié)構(gòu)件退火/時(shí)效Ti在400℃以上極易氧化，真空是選擇

鎢/鉬/鉭等難熔金屬絲材退火、板材再結(jié)晶高溫下極易氧化，必須真空保護(hù)

不銹鋼/高溫合金固溶處理、時(shí)效強(qiáng)化真空防止表面增碳/脫碳，保持表面光潔

銅/銅合金釬焊、退火真空防止氧化變色，保證焊接質(zhì)量

貴金屬（Au/Ag/Pt）首飾燒結(jié)、電子漿料防止氧化、保證純度

活性金屬（Zr/Hf/Nb）熔煉、燒結(jié)化學(xué)活性強(qiáng)，空氣中瞬間氧化

MIM注射成型件脫脂+燒結(jié)一體化先真空脫脂，再真空燒結(jié)

? 陶瓷與耐火材料

材料典型應(yīng)用為什么必須用真空？

氧化鋁（Al?O?）透明陶瓷燒結(jié)、刀具基體真空促進(jìn)致密化，消除氣孔

氧化鋯（ZrO?）牙科烤瓷、結(jié)構(gòu)陶瓷防止碳污染變色，保持白色

氮化硅（Si?N?）軸承球、發(fā)動(dòng)機(jī)部件真空燒結(jié)是主流工藝

碳化硅（SiC）高溫結(jié)構(gòu)件、半導(dǎo)體真空防止SiC氧化分解

氮化硼（BN）耐高溫潤(rùn)滑材料真空防止BN氧化

透明陶瓷（YAG/鎂鋁尖晶石）激光窗口、裝甲真空燒結(jié)是獲得高透過(guò)率的關(guān)鍵

? 粉末冶金 & 硬質(zhì)合金

材料典型應(yīng)用為什么必須用真空？

WC-Co 硬質(zhì)合金刀具、模具、礦用鉆頭真空燒結(jié)使Co充分潤(rùn)濕WC，獲得高致密度

鐵基/銅基粉末件齒輪、軸承、含油軸承真空燒結(jié)+滲油，獲得高精度零件

不銹鋼粉末件過(guò)濾器、多孔材料真空防止表面氧化，保證孔隙連通

金屬注射成型（MIM）手機(jī)卡托、零件脫脂+燒結(jié)一體化，尺寸精度高

? 新能源材料

材料典型應(yīng)用為什么必須用真空？

鋰電池正極材料（NCM/LFP）高溫固相合成真空防止Li?CO?分解異常，控制氧含量

負(fù)極材料（石墨/硅碳）石墨化處理（2500~3000℃）真空防止石墨氧化，提高結(jié)晶度

固態(tài)電解質(zhì)（LLZO/LPS）燒結(jié)致密化真空防止Li揮發(fā)，保持化學(xué)計(jì)量比

光伏硅片退火、擴(kuò)散真空防止表面污染

? 電子與半導(dǎo)體

材料典型應(yīng)用為什么必須用真空？

ITO靶材濺射鍍膜用靶材真空燒結(jié)保證高致密度、高純度

MLCC陶瓷電容BaTiO?基陶瓷燒結(jié)真空防止還原變色，保證介電性能

壓電陶瓷（PZT）傳感器、超聲換能器真空燒結(jié)控制氧空位，優(yōu)化壓電系數(shù)

磁性材料（鐵氧體/釹鐵硼）永磁體燒結(jié)真空防止Nd氧化，保證磁性能

銀漿/銅漿燒結(jié)太陽(yáng)能電池電極、功率器件真空低溫?zé)Y(jié)，防止金屬氧化

? 復(fù)合材料 & 特殊材料

材料典型應(yīng)用

C/C復(fù)合材料航空剎車片，真空石墨化處理

C/SiC復(fù)合材料航天防熱結(jié)構(gòu)，CVI前驅(qū)體熱解

金剛石燒結(jié)刀具、鉆頭，高溫高壓+真空

玻璃/玻璃陶瓷封接玻璃真空燒結(jié)，防止氣泡

牙科烤瓷/全瓷冠真空燒結(jié)保證色澤和強(qiáng)度

三、按 ?? 行業(yè)領(lǐng)域 分類

行業(yè)核心應(yīng)用代表企業(yè)/機(jī)構(gòu)

??? 航空航天鈦合金退火、高溫合金時(shí)效、葉片釬焊、C/C復(fù)合材料處理航發(fā)集團(tuán)、西飛、成飛

?? 新能源/電池正負(fù)極材料燒結(jié)、固態(tài)電解質(zhì)致密化、石墨化寧德時(shí)代、比亞迪、國(guó)軒高科

?? 半導(dǎo)體/電子靶材燒結(jié)、MLCC陶瓷、銀漿燒結(jié)、磁性材料三環(huán)集團(tuán)、風(fēng)華高科、TDK

?? 醫(yī)療/牙科氧化鋯全瓷冠、金屬烤瓷冠、種植體熱處理愛(ài)爾創(chuàng)、滬鴿口腔

?? 粉末冶金/硬質(zhì)合金WC-Co燒結(jié)、MIM脫脂燒結(jié)、銅基含油軸承株洲硬質(zhì)合金、有研粉材

??? 陶瓷/耐火材料透明陶瓷、結(jié)構(gòu)陶瓷、耐火磚燒結(jié)山東工陶、中材高新

?? 高校/科研院所新材料開(kāi)發(fā)、基礎(chǔ)研究、小批量試制中科院各所、985/211高校材料學(xué)院

?? 光伏/太陽(yáng)能硅片退火、銀漿燒結(jié)隆基、通威

?? 化工/催化催化劑焙燒、活性炭活化各大化企研發(fā)中心

四、按 ?? 規(guī)模/批量 分類

規(guī)模適用情況典型爐膛尺寸

實(shí)驗(yàn)室/研發(fā)小批量試制、配方摸索、論文實(shí)驗(yàn)1~10L（100×100×100mm ~ 300×300×300mm）

中試/小批量生產(chǎn)樣品驗(yàn)證、小批量供貨10~50L（400×400×400mm）

批量生產(chǎn)連續(xù)化生產(chǎn)（需選連續(xù)式真空爐）50L以上（非標(biāo)定制）

?? 真空箱式爐適合實(shí)驗(yàn)室和小批量生產(chǎn)，大批量連續(xù)生產(chǎn)建議選真空推板爐/網(wǎng)帶爐/回轉(zhuǎn)爐。

五、? 不適用的場(chǎng)景（避坑指南）

場(chǎng)景為什么不適用替代方案

? 需要大氣壓下氧化的工藝（如發(fā)藍(lán)處理）真空環(huán)境無(wú)法提供O?選普通氣氛馬弗爐

? 超大批量連續(xù)生產(chǎn)（萬(wàn)件/天）箱式爐開(kāi)門裝料，效率低選連續(xù)式真空爐（推板/網(wǎng)帶）

? 超高溫（＞2000℃）箱式爐一般上限1800℃選真空感應(yīng)爐/電弧爐

? 超大工件（＞500mm）爐膛尺寸受限選大型真空室式爐

? 需要快速淬火冷卻箱式爐自然冷卻慢選真空油淬爐/氣淬爐